证券日报网讯 1月29日，微导纳米在互动平台回答投资者提问时表示，在ALD设备中，水蒸气与臭氧均可作为氧源。公司出厂的设备能够为客户提供多种配置选择，实际运行中客户会根据成本、稳定性、工艺控制等因素决定具体采用的工艺路线。
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